半導體材料氣體 xps-7
¬ 只要更換傳感器單元就可以檢測對象氣體
¬ 用盒式傳感器單元無需進行檢測器校正
¬ 大幅度削減成本和維護時間
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型號
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XPS-7
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檢測原理
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定電位電解式
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檢測氣體對象
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半導體材料氣體
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指示范圍
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根據規格
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分辨率
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實現滿量程的百分之一
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指示精度
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FS±10%以內
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報警模式
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2段報警方式
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報警方式
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蜂鳴器(間歇音)、報警燈閃爍
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應答時間
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60秒以內(60%應答)
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電源
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5號堿性干電池4節或AC專用變壓器
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電池使用時間
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連續12小時以上
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外型尺寸
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W
762×H150×D128(除去突起物) |
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檢測方式
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泵吸式
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使用溫度范圍
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0℃～40℃
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重量
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約1.3kg
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附件
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肩背皮帶、5號堿性干電池4節、過濾紙兩張
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選購件
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AC專用變壓器、傳感器專用通電臺、數據收集配套元件
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| XPS-7對象氣體一覽表 |
| 型號 |
氣體 |
F.S |
型號 |
氣體 |
F.S |
型號 |
氣體 |
F.S |
| XPS-7NH |
NH3 |
100ppm |
XPS-7GH |
GeH4 |
1ppm |
XPS-7HS |
H2S |
50ppm |
| XPS-7SH |
SiH4 |
25ppm |
XPS-7CL |
CL2 |
5ppm |
XPS-7CO |
CO |
250ppm |
| XPS-7DC |
SiH2CL2 |
25ppm |
XPS-7CF |
CLF3 |
1ppm |
XPS-7DS |
Si2H6 |
25ppm |
| XPS-7AS |
AsH3 |
250ppm |
XPS-7HC |
HCL |
25ppm |
XPS-7F2 |
F2 |
5ppm |
| XPS-7PH |
PH3 |
1ppm |
XPS-7HF |
HF |
10ppm |
XPS-7OZ |
O3 |
1ppm |
| XPS-7BH |
B2H6 |
500ppm |
XPS-7HB |
HBr |
10ppm |
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| XPS-7SE |
H2Se |
250ppm |
XPS-7NO |
NO |
100ppm |
